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超音波洗浄システム
液中投げ込み型
液中に沈めて使用するタイプです。
MegaS_BW 液中投げ込み型
400kHz~5MHzの超音波振動泡により、半導体ウエハーなどに付着した微細な汚れを洗浄する超音波洗浄装置です。