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MegaS_sp メガソニック・スプレーノズル型   用途 半導体ウエハーの洗浄 微細構造物の洗浄 ご購入・お問い合わせ 光進 ミニモディビジョン TEL : 03-5731-8800 FAX : 03-5731-8080 お問い合わせフォーム   （別ウィンドウで表示 669×670ピクセル） 特徴 高周波超音波振動（泡）による洗浄システムです。 制御された微細キャビテェーションで微少なパーティクルを除去洗浄します。 スプレーノズル式です。 仕様 ミニモ営業部にお問い合わせ下さい。 Tel.03-5731-8800 Fax.03-5731.8080 e-mail:minimo@koshindenki.com

所属製品

シリーズ/コード	出力（Ｗ）	周波数（ＭＨｚ）	電源電圧（Ｖ）	重量（ｋｇ）	資料
シングルノズル	35...70	0,95...4,05	110又は230	約5,2	PDF
ダブルノズル	70	0,95...4,05	230	約5,2	PDF

添付資料